场发射扫描电子显微镜
发布人:秦欢欢  发布时间:2016-10-19   浏览次数:96

1)中文名称:场发射扫描电子显微镜;英文名称:SEM

2)生产厂商:FEI捷克有限公司;型号:Nova NanoSEM 450

3)主要技术指标:

        分辨率:高真空:1.0nm15kV),1.4nm1kV

低真空:1.8nm3kV,采用Helix探头)

聚焦范围:模式I1mm~60mm,模式Ⅱ为1mm~7mm1kV

        加速电压:50V~30kV,连续可调

       电子束流:可达200nA

       放大倍数:100~600000

       倾斜角度:-15°~75°

       样品台移动范围:X=Y=110mmZ=25mm

4主要附件:

          1、超高强度Schottky场发射灯丝;

          2ETDTLD探测器,可实现固体样品的微观形貌观察;

          3、低真空探测器,可对不导电样品进行形貌及成分分析;

          4、背散射探测器,可获得样品的成分衬度图片;

          5CCD红外相机;

          6、牛津X-Max 20能谱仪,可实现固体样品的微区能谱成分分析及线分布、面分布分析;

          7、美国Gantan ChromaCL Ⅱ阴极荧光光谱仪,可配合扫描电镜使用,获得样品的阴极荧光图像;

          8、英国QUORUM Q150R S自动离子溅射镀膜仪,用于扫描电镜样品镀制导电膜;