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电子探针

时间：2016-10-19浏览：5845

电子探针主要功能及应用范围：

  • 主要功能

二次电子像（SEI）、背散射电子像（BEI）、X射线像（X-ray）、定性分析、定量分析、线分析、面分析

  • 应用范围：

电子探针X射线显微分析的微区、无损伤分析特点是它的最大优越之处，它在物理﹑化学﹑化工﹑地质﹑环境﹑冶金﹑半导 体﹑机械﹑材料﹑核物理等方面广泛应用。如：超导材料﹑半导体材料﹑激光材料﹑电子元器件﹑地质

  • 仪器用途：

（1）矿物的成分分析，用单矿物定量分析数据可以给矿物准确地的定名，区分矿物的变种，是发现新矿物必不可少的依据 。

（2）图像观察，区分一个矿物是均匀的单矿物还是多种矿物的混合体，有无出溶及混熔现象。

（3）尤其是微小难以辨认的矿物，如细小的金（小到微米级）的赋存状态的研究和分析。通过图像可以直接观察到它的粒度大小。

（4）金属及合金材料

同相区成分的分析，金属夹杂物的分析。

（5）部件材料、焊接材料组成的剖析。表面镀层厚度分析。

（6）宝玉石原料及成品的鉴定等。


  • 本实验室电子探针型号

电子探针（一）

  1. 型号：JXA-8230

  2. 厂商：日本电子株式会社JEOL

  3. 安装年份：2018年（钨灯丝）

  4. 主要规格及技术参数：

·二次电子分辨率6nm

·分析元素范围5B-92U

·波谱通道数4CH

·分光晶体类型LIF，PETJ，TAPJ，LDE1，LDE2，LIFHS，PETHS等8块晶体

·加速电压范围0~30 kV

 ·束流稳定性≤±0.05%/h

  1. 主要附件：无

图1 日本电子JEOL JXA-8230电子探针



电子探针（二）

  1. 型号：JXA-8530F Plus

  2. 厂商：日本电子株式会社JEOL

  3. 安装年份：2018年(场发射)

  4. 主要规格及技术参数：

·二次电子分辨率3nm

·分析元素范围4Be-92U

·波谱通道数5CH

·分光晶体类型TAPJ，LDE1，LDE2，LDEB，LIFHS，PETHS，TAPH，LDE3H，LIFL，PETL等12块晶体

·加速电压范围0~30 kV

·束流稳定性≤±0.03%/h

  1. 主要附件：·牛津X-Max20能谱仪

         · 阴极发光系统CL

图2 日本电子JEOL JXA-8530F Plus电子探针



电子探针（三）

  1. 型号：JXA-8100

  2. 厂商：日本电子株式会社JEOL

  3. 安装年份：2002年（钨灯丝）

  4. 主要规格及技术参数：

·二次电子分辨率6nm

·分析元素范围5B-92U

·波谱通道数3CH

·分光晶体类型LIF，PET，TAP等6块晶体

·加速电压范围0~30 kV

·束流稳定性≤±0.05%/h

（5）主要附件：牛津INCA Energy 300能谱仪


图3 日本电子JEOL JXA-8100电子探针


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