蔡司Sigma 300场发射扫描电镜实验室

发布者:秦欢欢发布时间:2021-04-12浏览次数:8792


(1)中文名称:场发射扫描电子显微镜;英文名称:FE-SEM

2)生产厂商:德国卡尔·蔡司股份公司;型号:Zeiss Gemini Sigma 300 VP SEM

3)主要功能及应用:高分辨率微区形貌分析及成像,结合能谱仪可进行半定量分析;被广泛应用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。

4)主要技术指标:

分辨率SE1.0nm15kV),1.6nm1kV

加速电压20V~30kV,连续可调,无需模式更换

电子枪:肖特基热场发射电子枪

电子束流:最大束流不小于20 nA

放大倍数10~1000000 (底片放大倍率),根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准。

样品台移动范围125 mmX方向),125 mmY方向),50 mmZ方向),-10°-90°(倾斜),360°(旋转)

真空系统:样品室真空度:高真空模式优于 2×10-4 Pa;电子枪真空度优于 10-7Pa 数量级。

数字图像记录系统:图像储存分辨率:最大32 k×24 k像素,图像显示:1240×768 像素;图像记录:TIFF, BMPJPEG

蔡司Sigma 300场发射扫描电子显微镜实物图


5)主要附件:

1)五轴全自动马达样品台,可实现观测样品360°旋转;

2)物镜内环形In-lens二次电子探测器(In-lens SE);

3)样品室可变气压二次电子探测器(Fourth generation variable pressure SE);

4)样品室内E-T二次电子探测器(ETSE);

5)低真空探测器(VP SE),可对不导电样品进行形貌及成分分析;

6)样品室内背散射电子探测器(BSE),可获得样品的成分衬度图像;

7)阴极荧光探测器(CL),可获得样品的阴极荧光图像;

8)能谱仪(EDS,预装),可用于样品表面的成分分析,与SEM结合使用可以同时获得表面形貌与成分的信息;

9)电子背散射衍射(EBSD,预装),可用于晶体学取向、再结晶形核与长大机制、织构、相变及其位向关系、界面结构特征、绝热剪切带内部的取向等;

10IR-CCD 相机,与主机同一品牌,原装进口;

11)自动喷碳仪(Carbon Coater),用于观测样品镀制导电膜。

12)光电联用软件模块:实现光镜和电镜无缝关联,可在光镜下获得不同区域

 的多个位置和照片,只需要将光镜照片导入电镜中,即可在电镜下自动找

 到光镜下显示的多个位置和观察区域,无需任何手动比对。

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