（1）中文名称：场发射扫描电子显微镜；英文名称：FE-SEM
（2）生产厂商:德国卡尔·蔡司股份公司；型号：Zeiss Gemini Sigma 300 VP SEM
（3）主要功能及应用：高分辨率微区形貌分析及成像，结合能谱仪可进行半定量分析；被广泛应用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。
（4）主要技术指标：
分辨率：SE：1.0nm（15kV），1.6nm（1kV）
加速电压：20V~30kV，连续可调，无需模式更换
电子枪：肖特基热场发射电子枪
电子束流：最大束流不小于20 nA
放大倍数：10~1000000 (底片放大倍率)，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。
样品台移动范围：125 mm（X方向），125 mm（Y方向），50 mm（Z方向），-10°-90°（倾斜），360°（旋转）
真空系统：样品室真空度：高真空模式优于 2×10-4 Pa；电子枪真空度优于 10-7Pa 数量级。
数字图像记录系统：图像储存分辨率：最大32 k×24 k像素，图像显示：1240×768 像素；图像记录：TIFF, BMP或JPEG。
蔡司Sigma 300场发射扫描电子显微镜实物图
（5）主要附件：
1）五轴全自动马达样品台，可实现观测样品360°旋转；
2）物镜内环形In-lens二次电子探测器（In-lens SE）；
3）样品室可变气压二次电子探测器（Fourth generation variable pressure SE）；
4）样品室内E-T二次电子探测器（ETSE）；
5）低真空探测器（VP SE），可对不导电样品进行形貌及成分分析；
6）样品室内背散射电子探测器（BSE），可获得样品的成分衬度图像；
7）阴极荧光探测器（CL），可获得样品的阴极荧光图像；
8）能谱仪（EDS，预装），可用于样品表面的成分分析，与SEM结合使用可以同时获得表面形貌与成分的信息；
9）电子背散射衍射（EBSD，预装），可用于晶体学取向、再结晶形核与长大机制、织构、相变及其位向关系、界面结构特征、绝热剪切带内部的取向等；
10）IR-CCD 相机，与主机同一品牌，原装进口；
11）自动喷碳仪（Carbon Coater），用于观测样品镀制导电膜。
12）光电联用软件模块：实现光镜和电镜无缝关联，可在光镜下获得不同区域
的多个位置和照片，只需要将光镜照片导入电镜中，即可在电镜下自动找
到光镜下显示的多个位置和观察区域，无需任何手动比对。
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