（1）中文名称：场发射扫描电子显微镜；英文名称：SEM
（2）生产厂商：FEI捷克有限公司；型号：Nova NanoSEM 450
（3）主要技术指标：
分辨率：高真空：1.0nm（15kV），1.4nm（1kV）
低真空：1.8nm（3kV，采用Helix探头）
聚焦范围：模式I为1mm~60mm，模式Ⅱ为1mm~7mm（1kV）
加速电压：50V~30kV，连续可调
电子束流：可达200nA
放大倍数：100~600000
倾斜角度：-15°~75°
样品台移动范围：X=Y=110mm，Z=25mm
（4）主要附件：
1、超高强度Schottky场发射灯丝；
2、ETD、TLD探测器，可实现固体样品的微观形貌观察；
3、低真空探测器，可对不导电样品进行形貌及成分分析；
4、背散射探测器，可获得样品的成分衬度图片；
5、CCD红外相机；
6、牛津X-Max 20能谱仪，可实现固体样品的微区能谱成分分析及线分布、面分布分析；
7、美国Gantan ChromaCL Ⅱ阴极荧光光谱仪，可配合扫描电镜使用，获得样品的阴极荧光图像；
8、英国QUORUM Q150R S自动离子溅射镀膜仪，用于扫描电镜样品镀制导电膜；
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